一、设备介绍

超快激光玻璃晶圆切割设备，配备品质皮秒激光器，通过超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圆内部产生非线性自聚焦效应，达到激光成丝切割的效果。该设备还可应用于各类透明脆性材料的快速划线、切割。

二、设备特点

Ø 高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束质量和稳定性、超窄脉宽，聚焦光斑极小，约2-3μm，采用全新的贝塞尔激光成丝技术，可实现3mm玻璃晶圆一刀切；

Ø 采用高精密直线电机和全闭环光栅检测控制系统，加工台面可达400×400mm，保证稳定高效生产；

Ø 配备高像素视觉定位系统，可抓取各类Mark点及轮廓，实现高精度图像定位加工；

Ø 采用天然大理石的机床基座、高刚性结构设计以及减震机床脚杯，很大程度减轻加速过程中产生的惯性震动，并可有效防止环境温度变化引起的床身精度变化。

三、主要性能参数